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J-GLOBAL ID：201002268552731676   整理番号：10A1008442

マイクロ/ナノデバイスでの非連続体気相熱伝導に関する理論的および数値的研究

THEORETICAL AND NUMERICAL STUDIES OF NONCONTINUUM GAS-PHASE HEAT CONDUCTION IN MICRO/NANO DEVICES

著者 (2件)： ZHU Taishan (Hong Kong Univ. Sci. and Technol., HKG) ,  YE Wenjing (Hong Kong Univ. Sci. and Technol., HKG)
資料名： Numerical Heat Transfer Part B. Fundamentals  (Numerical Heat Transfer Part B. Fundamentals)
巻： 57  号： 1/6  ページ： 203-226  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： T0835A  ISSN： 1040-7790  CODEN： NHBFEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロヒータをマイクロ/ナノ構造と統合する手法により,所定の機能を実現するために熱伝達を利用する大規模クラスの微小電子機械システム(MEMS)の開発が可能となる。本研究では,広い圧力範囲にわたるサブマイクロメータ気相熱伝導に関するモデリング手法について理論的および数値的に研究した。焦点は実用的MEMSデバイスのモデリングができる効率的でなおかつ正確な手法に置いた。異なるガス領域に適した種々の手法について検討し,いくつかの新しいモデル/手法を開発した。本報では加熱素子を有するMEMSデバイスの典型的なシナリオに類似する2-Dモデル問題を用いてこれらの手法について例証した。滑り領域では,種々の一次滑りモデルについて再吟味し,新しい滑りモデルを提案し,DSMC法(直接シミュレーションモンテカルロ法)シミュレーションを用いて検証した。またこれらの検討でKnudsen数による特性などを明らかにした。

シソーラス用語： *MEMS ,  *非定常熱伝導 ,  *気相 ,  *微細構造 ,  *ナノ構造 ,  圧力分布 ,  滑り流 ,  モンテカルロ法 ,  発熱体 ,  モデリング ,  解析的解法 ,  数値解法 ,  Knudsen数 ,  滑り ,  熱流束 ,  温度分布 ,  密度分布
準シソーラス用語： DSMC法 ,  滑り係数

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  熱伝導  (PA02020Z)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノデバイス ,  連続体 ,  気相 ,  熱伝導 ,  理論 ,  数値 ,  研究