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J-GLOBAL ID：201002268648185532   整理番号：10A0362296

微細構造の感光ガラスチャネル中のマイクロスケール液体金属小滴を用いたMEMSのディジタル加速度計(MDAP)の開発

Development of a MEMS digital accelerometer (MDA) using a microscale liquid metal droplet in a microstructured photosensitive glass channel

著者 (3件)： PARK Usung (Dep. of Mechanical Engineering, Pohang Univ. of Sci. and Technol. (POSTECH), San 31 Hyoja-dong Nam-gu, Pohang ...) ,  YOO Kwanghyun (Dep. of Mechano-Informatics, School of Information Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku ...) ,  KIM Joonwon (Dep. of Mechanical Engineering, Pohang Univ. of Sci. and Technol. (POSTECH), San 31 Hyoja-dong Nam-gu, Pohang ...)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 159  号： 1  ページ： 51-57  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿は,感光ガラスにエッチングされた微細構造チャネルにおけるマイクロスケール(350nL)液体金属小滴から成る微小電気機械システム(MEMS)ディジタル加速度計(MDA)の運用上の概念,製造および実験的評価を紹介する。MDAは単に,液体金属小滴の高い表面張力,高密度および電気伝導率を利用するだけでなく,また,感光ガラスの機械的安定性および異方性フォトエッチングされる能力をも利用する。フォトエッチングを用いて,素子に異方性のチャネルをエッチングする。エッチングプロセス中に,グラスチャンネル表面で微細構造が一様に形成される,すなわち,それらは接触角ヒステリシスを最小化し,液体金属小滴がガラス表面で容易に移動することを可能にする。試験質量として液体金属小滴を統合することによって,微細構造の感光ガラスチャネル内部の入力加速度を測定し,簡単であるが効果的なディジタル加速度計を実現する。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *感光性ガラス ,  液滴 ,  *液体金属 ,  MEMS ,  *加速度計 ,  微細構造 ,  フォトエッチング ,  接触角 ,  ディジタル計測
準シソーラス用語： *感光ガラス ,  小滴 ,  超微細構造

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (10件)： 微細構造 ,  感光ガラス ,  チャネル ,  マイクロスケール ,  液体金属 ,  小滴 ,  MEMS ,  ディジタル ,  加速度計 ,  開発