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J-GLOBAL ID:201002268649435648   整理番号:10A1027065

ショットキー放出型電子銃の電子軌道解析と収差の評価

著者 (2件):
資料名:
号: 45  ページ: 77-85  発行年: 2010年03月31日 
JST資料番号: G0584C  ISSN: 1883-3217  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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ショットキー放出型電子銃の電子軌道を数値解析して,「実効的な電子源」すなわち「虚電子源」が形成される様子を調べ,銃内部の電界レンズの収差を評価した。電界解析では電極電圧と陰極表面の電界強度の関係を調べた。電子軌道解析では電子銃内部の電界レンズがもつ球面収差の影響を調べて,3次の球面収差係数がすでに求められている。しかし,放出電子が持つエネルギーの広がりや電極電圧の変動が原因となって発生する色収差の影響についてはまだ,解析が行われていなかった。本文では,改良した電極モデルを使用して電子軌道を解析した結果と収差を評価した結果について述べる。
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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電子ビーム,イオンビーム 

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