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J-GLOBAL ID:201002269032945203   整理番号:10A0319606

軽元素B,C,NおよびOのための表面特性化ツールとしての電子衝撃によるX線放出:感度要素と有効な減衰長

X-ray emission by electron impact as a surface characterization tool for the light elements B, C, N and O: sensitivity factors and effective attenuation length
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巻: 25  号:ページ: 150-155  発行年: 2010年02月 
JST資料番号: C0770C  ISSN: 0267-9477  CODEN: JASPE2  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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電子衝撃によって引き起こされるX線放出は,電子顕微鏡検査に関連づけられた一般的な特性化の技術である。表面および薄膜分析のためのこの技術を使う可能性がある分野としては,電子が軽元素の内殻遷移を起こさせることを必要とする分野である。著者らは本研究では,入射電子ビームエネルギーの関数としてのBに比例して軽元素C,N,およびOの感度要素(k因子として知られている)を決定するために,h-BN,B4CおよびB2O3バルクサンプル由来の実験的にX線放出強度を研究した。これらの結果をモンテカルロシミュレーションと比較した。
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分類 (1件):
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一般及び無機化合物の電子分光スペクトル(分子) 

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