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J-GLOBAL ID：201002269505550899   整理番号：10A0840941

金属間ESDの放電特性の放電間隔時間依存性

The Interval Dependency of Characteristics of ESD from a Charged Metal

著者 (4件)： 吉田孝博 (東京理大 工) ,  河崎健太朗 (東京理大 工) ,  吉原宏 (東京理大 工) ,  増井典明 (東京理大 工)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 34  号： 3  ページ： 143-144  発行年： 2010年07月23日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 静電気放電(ESD)の特性を得るためには,連続して行うことによる放電特性への影響を明らかにする必要がある。ここでは,金属間ESDの放電特性の放電間隔時間依存性を調べた。放電間隔は20~150秒とし,各50回測定した。さらに,高電圧側電極に紫外線照射も併せて行った。その結果,放電後数十秒~数分程度に渡り,放電特性への影響を確認した。

シソーラス用語： 時間依存性 ,  *帯電 ,  間隔 ,  紫外線照射 ,  *静電気放電

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (5件)：

• 増井典明. 静電気学会誌. 2003, 27, 85
• 吉原宏. 静電気学会誌. 2009, 33, 2
• 大木正路. 高電圧工学. 1982, 84
• 八田吉典. 気体放電. 1968, 76
• 橋本寛. 応用物理. 1989, 58, 6, 64

タイトルに関連する用語 (4件)： ESD ,  放電特性 ,  放電 ,  時間依存性