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J-GLOBAL ID：201002269514895467   整理番号：10A1529469

衝撃動作に耐性のある最適化した櫛歯駆動指形状

Optimized comb-drive finger shape for shock-resistant actuation

著者 (4件)： ENGELEN Johan B C (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  ABELMANN Leon (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  ELWENSPOEK Miko C (Univ. Twente, Enschede, NLD) ,  ELWENSPOEK Miko C (Albert-Ludwigs-Univ. Freiburg, Freiburg im Breisgau, DEU)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 10  ページ： 105003,1-9  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 静電櫛歯駆動はMEMSの動作に使われることが多いが,標準的な櫛歯(ストレート指)駆動アクチュエータで得られる力の最大値は,かなり小さい。ここでは衝撃動作に耐性のある最適化した指形状を持った櫛歯駆動の解析解,有限要素解析と測定を示した。大きな変位に対して最大力を増加して,大きな衝撃耐性を与えた新しい指形状を報告した。櫛歯駆動の動作範囲にわたって一定の力が利用できることが,衝撃耐性と大きなストロークに対して最適解であることを示した。一定の力を利用できる指形状の解析解を,製作した櫛歯駆動の有限要素計算と測定とともに示した。ストレート指に対して最適な指では,1.8倍の力が出せる。

シソーラス用語： *MEMS ,  *櫛形 ,  *アクチュエータ ,  *形態 ,  衝撃荷重 ,  最適化 ,  解析的解法 ,  測定データ ,  長さ
準シソーラス用語： ストローク【長さ】 ,  解析解 ,  *最適形状 ,  衝撃負荷 ,  静電アクチュエータ ,  有限要素解析

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 衝撃 ,  耐性 ,  最適化 ,  櫛歯 ,  指