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J-GLOBAL ID：201002269597187779   整理番号：10A1529456

振動駆動エネルギハーベスタ応用のための静電浮上を用いたMEMSエレクトレット発電機

A MEMS electret generator with electrostatic levitation for vibration-driven energy-harvesting applications

著者 (4件)： SUZUKI Yuji (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MIKI Daigo (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  EDAMOTO Masato (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HONZUMI Makoto (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 10  ページ： 104002,1-8  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 面内変換器応用のための上部と下部構造間の付着を回避するために,パッシブなギャップ間隔制御法を提案した。高性能フッ素樹脂を用いたパターン形成エレクトレットを用いて,静電反発力を誘発した。プロトタイプを用いて,空気中および液中における面外反発力の実証に成功した。この静電浮上法を用いて,エネルギハーベスタ応用のためのMEMS面内エレクトレット発電機も開発した。静電反発力を用いた力の制御のために基板の上部と底部の両方に,パターン形成したアモルファスフッ素化ポリマCYTOPエレクトレットを生成した。2相電極配置を用いて,単向性静電減衰力を低減した。エアギャップを70μmとし,63Hzで2gの加速度を用いて,発電機の二つの相に対して,約0.5μW,全体の電力出力1.0μWを得た。さらにこの発電機の数値モデルにより,実際のMEMSエレクトレット発電機のプロトタイプを模擬できることも示した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *エレクトレット ,  *発電機 ,  発電 ,  静電気 ,  浮上り ,  間隙 ,  制御方式 ,  フッ素樹脂 ,  パターン形成 ,  斥力 ,  配置 ,  数学モデル ,  プロトタイプ ,  電力
準シソーラス用語： エネルギーハーベスタ ,  出力電力 ,  振動発電 ,  数値モデル ,  電極配置

分類 (2件)： その他の発電  (NB03140M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 振動駆動 ,  エネルギハーベスタ ,  応用 ,  浮上 ,  MEMS ,  エレクトレット発電機