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J-GLOBAL ID：201002270010036550   整理番号：10A0092138

450mmウェーハ《450mmウェーハの最新動向》検査装置と洗浄装置をISMIが導入 2014年以降,450mm量産開始か

著者 (1件)： 原峰葉
資料名： Electronic Journal  (Electronic Journal)
号： 190  ページ： 78-79  発行年： 2010年01月15日 
JST資料番号： L5481A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 米International SEMATECH Manufacturing Initiative(ISMI)は,12月2日,SEMICON JAPAN 2009において450mmプログラムの進捗状況を発表した。最新動向をリポートした。プログラムは着実に進展している。単結晶Siウエハの品質向上に向けた開発が進められている。製造装置については,EPMsを目標値として開発が進められており,欠陥/エッジ検査装置のプロトタイプがクリーンルームに導入された。また,枚葉式洗浄装置のプロトタイプも導入された。450mm Progress in 2009(ISMI)を表示した。

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  端部 ,  試験装置 ,  洗浄装置 ,  *製品開発 ,  大量生産
準シソーラス用語： エッジ ,  検査装置 ,  量産

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (5件)： ウェーハ ,  最新動向 ,  検査装置 ,  洗浄装置 ,  量産