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J-GLOBAL ID:201002270736836173   整理番号:10A1605526

高面圧転がり滑り接触におけるDLC膜のしゅう動特性

著者 (5件):
資料名:
巻: 2010  号: Vol.4  ページ: 159-160  発行年: 2010年09月04日 
JST資料番号: X0587B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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DLC膜は,低摩擦,高耐摩耗性を有する炭素系硬質皮膜であるが,高面圧で使用する機械要素への適用には多くの課題が残されている。UBMS法により基板バイアス電圧を変化させて力学特性の異なる6種類のDLC膜を作製し,約2.84GPaの高面圧転がり接触によるしゅう動特性を調べた。試験開始後,早い段階において転がりのみではなく滑りが発生し,摩擦挙動が不安定になることがわかった。その時の皮膜断面の観察から皮膜内部に損傷を確認した。また,損傷要因解明のために,傾斜組成中間層の力学特性についても詳細に調べた。(著者抄録)
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分類 (2件):
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炭素とその化合物  ,  固体の機械的性質一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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