文献

J-GLOBAL ID：201002270759049802   整理番号：10A0137530

電気化学キャパシタ用の高周波スパッタリングによる酸化マンガン電極の製造

Fabrication of manganese oxide electrodes by radio frequency sputtering for electrochemical capacitors

著者 (2件)： LIN Chuen-Chang (National Yunlin Univ. Sci. and Technol., Yunlin, TWN) ,  LEE Chih-Chung (National Yunlin Univ. Sci. and Technol., Yunlin, TWN)
資料名： Journal of Applied Electrochemistry  (Journal of Applied Electrochemistry)
巻： 40  号： 1  ページ： 133-141  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： B0393B  ISSN： 0021-891X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラファイト箔に高周波スパッタリングで酸化マンガンを析出させ,さらに熱処理することで電気化学キャパシタ用電極を製造した。電極の比静電容量とサイクル性能を向上させるために,スパッタリングと熱処理の最適条件を検討した。重量当りと面積当りの比静電容量に対して,スパッタリングの最適条件は異なることがわかった。すなわち,重量当りの比静電容量は,低真空度でスパッタリング出力を増加させれば,酸化マンガン析出量が増加することによって増大する,一方,面積当りの比静電容量に対しては最適領域があることを確認した。この原因は表面粗さの変化よると考えられる。熱処理無しの酸化マンガン電極は,重量当り比静電容量が熱処理電極より大きな値となるが,サイクル性能は急激に低下した。一方,熱処理電極は重量当り比静電容量は相対的に小さいが,サイクル性能の低下は小さいことがわかった。

シソーラス用語： *コンデンサ ,  *RFスパッタリング ,  *酸化マンガン ,  *電極 ,  箔 ,  グラファイト ,  沈着 ,  熱処理 ,  静電容量 ,  表面粗さ ,  サイクル寿命
準シソーラス用語： *電気化学キャパシタ ,  電気化学コンデンサ ,  比静電容量

分類 (2件)： LCR部品  (NA05030D) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電気化学キャパシタ ,  高周波スパッタリング ,  酸化マンガン