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J-GLOBAL ID：201002271420822614   整理番号：10A0053930

sp²結合炭素表面のメタンプラズマを用いた水素化

Hydrogenation of sp²-bonded carbon surfaces using methane plasma

著者 (5件)： DESLANDES Alec (Smart Surface Structures Group, The School of Chemistry, Physics and Earth Sciences, Flinders Univ., GPO Box 2100 ...) ,  JASIENIAK Marek (Ian Wark Res. Inst., Univ. of South Australia, Mawson Lakes, SA 5095, AUS) ,  IONESCU Mihail (Australian Nuclear Sci. & Technol. Organisation, PMB 1, Menai, NSW 2234, AUS) ,  SHAPTER Joseph G. (Smart Surface Structures Group, The School of Chemistry, Physics and Earth Sciences, Flinders Univ., GPO Box 2100 ...) ,  QUINTON Jamie S. (Smart Surface Structures Group, The School of Chemistry, Physics and Earth Sciences, Flinders Univ., GPO Box 2100 ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 256  号： 6  ページ： 1888-1894  発行年： 2010年01月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高配向性熱分解グラファイトを無線周波数メタンプラズマに曝し,水素終端炭素表面を産出した。処理パラメータ,つまり露出時間,駆動パワー及びメタン圧力の,処理された表面の化学的および形態学的特性に及ぼす効果を系統的に調べた。走査型トンネル顕微鏡測定は,プラズマ処理された表面上の成長模様の被覆率が,露出時間や駆動パワーの増加と共に増加し,ガス圧増加とともに減少することを明らかにした。後処理された表面構造の解析(主成分分析支援の静的二次イオン質量分析による)は,表面水素が露出時間と駆動プラズマパワーの増加とともに増加し,ガス圧増加とともに減少することを示した。これらの解析結果はさらに,弾性反跳検出分析測定により支持され,結果としての表面水素含有量に関する実験パラメータに対し,類似の傾向を示した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *高配向性熱分解グラファイト ,  RF放電 ,  *プラズマ処理 ,  *水素化 ,  表面処理 ,  表面構造 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  主成分分析 ,  二次イオン質量分析 ,  放射線吸収・散乱分析 ,  アルカン
準シソーラス用語： 水素終端 ,  弾性反跳検出分析

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： 炭素 ,  メタン ,  プラズマ ,  水素化