文献

J-GLOBAL ID：201002271493725854   整理番号：10A0284300

マイクロ及びナノパターンコンポーネントの電気化学的レプリカ法でのモールド用代替仕上げ方式

Alternative Fertigungsverfahren fuer Formeinsaetze durch galvanische Replikation von mikro- und nanostrukturierten Bauteilen

著者 (4件)： WISSMANN Markus ,  GUTTMANN Markus ,  HARTMANN Michael ,  BEISER Markus
資料名： Galvanotechnik  (Galvanotechnik)
巻： 101  号： 2  ページ： 418-424  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： E0309A  ISSN： 0016-4232  CODEN： GVTKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： ドイツ (DEU)  言語： ドイツ語 (DE)

抄録/ポイント： プラスチックやセラミック製の微細機構部品を大量生産するためのモールド部品をリソグラフィーや電鋳方式で実施する場合には,部品のサイズ,構造・形状に限界がある。この問題を解消するための代替法式に関して以下の事項を解説した。1)新製法(組立方式(接着,かしめ,レーザ溶接),電鋳方式),2)新製法の適用事例(マイクロプリズム,カプラ,マイクロ干渉計,反射器)。

シソーラス用語： *パターン転写 ,  リソグラフィー ,  機構部品 ,  MEMS ,  *マイクロマシニング ,  大量生産 ,  高分子加工機 ,  *型 ,  代替案 ,  レプリカ法 ,  電鋳 ,  プラスチック成形 ,  *エンジニアリングプラスチック ,  *ファインセラミック

分類 (3件)： 電鋳  (WC08040Y) ,  射出成形  (YH04050Y) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気化学 ,  レプリカ法 ,  モールド ,  代替 ,  仕上げ