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J-GLOBAL ID：201002271593400375   整理番号：10A1261266

内部RFアンテナとCO₂レーザを用いた誘導結合プラズマによるダイヤモンド合成の調査

Study of diamond synthesis by inductively coupled plasma with inside RF antenna an CO2 laser

著者 (4件)： NAKAGAKI K ,  YAMAUCHI T ,  KANNO Y ,  KOBAYASHI S
資料名： 2007 PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS, VOLS 1-4
ページ： 357-358  発行年： 2007年 
JST資料番号： I20070251  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  アンテナ ,  CO2レーザ ,  誘導結合プラズマ ,  ダイヤモンド ,  調査