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J-GLOBAL ID：201002271618600889   整理番号：10A0343729

真空実装圧電型MEMSエネルギーハーベスターによる動力型の最初の自律無線センサーノード

First autonomous wireless sensor node powered by a vacuum-packaged piezoelectric MEMS energy harvester

著者 (12件)： ELFRINK R. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  POP V. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  HOHLFELD D. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  KAMEL T. M. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  MATOVA S. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  DE NOOIJER C. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  JAMBUNATHAN M. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  GOEDBLOED M. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  CABALLERO L. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  RENAUD M. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  PENDERS J. (IMEC, Eindhoven, NLD) ,  VAN SCHAIJK R. (IMEC, Eindhoven, NLD)
資料名： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻： 2009  ページ： 507-510  発行年： 2009年 
JST資料番号： C0829B  ISSN： 0163-1918  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空実装微小電子機械システム(MEMS)型エネルギーハーベスター(収穫器)により駆動する,無線自律型センサーシステム(WATS)の小型試作品(1cm³容積)を初めて実現した。異なる寸法を有する薄膜MEMS振動エネルギーハーベスターの特性を実験評価した。このMEMS型振動エネルギーハーベスターは,85μWの記録的な電力を測定した。開発したウエハスケール真空パッケージを用いることにより,大気圧下で実装した場合と比較して,その出力電力は100~200倍増した。振動エネルギーハーベスターを低電力電子機器と集積化することにより,15秒デユーテイサイクルで動作する10μW消費無線センサーノードの完全自律性を得た。

シソーラス用語： *MEMS ,  WSI【IC】 ,  *無線伝送 ,  センサ ,  *電力供給 ,  *圧電材料 ,  電力消費 ,  *振動エネルギー ,  窒化アルミニウム ,  真空シール ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛
準シソーラス用語： 無線センサ

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (8件)： 真空 ,  実装 ,  圧電 ,  MEMS ,  エネルギーハーベスター ,  動力 ,  自律 ,  無線センサーノード