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J-GLOBAL ID：201002271820255506   整理番号：10A0187006

マイクロカンチレバーの動的応答を調整するための形状記憶合金薄膜利用について

On the use of shape memory alloy thin films to tune the dynamic response of micro-cantilevers

著者 (6件)： KNIKNIE T (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  BELLOUARD Y (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  HOMBURG E (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  NIJMEIJER H (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  WANG X (Harvard Univ., MA, USA) ,  VLASSAK J J (Harvard Univ., MA, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 1  ページ： 015039,1-8  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡カンチレバーの動的応答を能動的に変えるための形状記憶合金(SMA)被覆使用における,マルテンサイト相変態効果を実験とモデリングによって調べた。本テーマは,装置の振動を制御して精度を向上させ,動的測定の領域拡大につながる,カンチレバー周波数応答の閉ループ制御実現を目指す研究の一環となっている。相変態を予測する簡単な熱機械モデル化を提案し,実験で測定したSMA薄膜電流とカンチレバー周波数応答の関係を説明した。実験では,撓みモードに起因する共振ピークおよび横方向のわずかな曲げと固有ねじれモードの組合せと推測される共振ピークが現れ,相変態の間に2つのピークが分離していく現象を観察した。

シソーラス用語： 形状記憶合金 ,  *片持梁 ,  動的応答 ,  閉ループ系 ,  周波数応答 ,  *原子間力顕微鏡 ,  マルテンサイト変態 ,  熱機械分析
準シソーラス用語： *マイクロカンチレバー ,  マルテンサイト相変態 ,  合金薄膜

分類 (1件)： 原子間相互作用  (BH04020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロカンチレバー ,  動的応答 ,  形状記憶 ,  合金薄膜