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J-GLOBAL ID：201002271846609560   整理番号：10A0964262

PMMA基板上にマイクロレンズアレイを製作するための気球ローラアシスト紫外線インプリンティング技術

A gasbag-roller-assisted UV imprinting technique for fabrication of a microlens array on a PMMA substrate

著者 (2件)： WU Jing-Tang (National Taiwan Univ., Taipei, TWN) ,  YANG Sen-Yeu (National Taiwan Univ., Taipei, TWN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 8  ページ： 085038,1-6  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本提案のインプリンティング技術は気球ローラとベルト形の鋳型を用いることに特徴がある。ポリメタクリル酸メチル(PMMA)基板上に紫外線硬化樹脂を塗布し,これに気球ローラを内蔵したベルト形の鋳型を一定の圧力で押し付けた状態で移動させる。この時,PMMA基板の裏面から紫外線を樹脂に照射して架橋させる。なお,ベルト形の鋳型材質はポリジメチルシロキサン(PDMS)である。気球ローラを使用する理由は鋳型と基板の接触面積を増加させて密着を確実にするとともに,露光時間を延ばして樹脂の光架橋を完全にするためである。直径95μm,ピッチ200μm,弛み高さ9.5μmの高分子マイクロレンズのアレイを製作し,レンズの輪郭と光学特性を測定した。焦点距離の平均値は227.3μmである。本提案のインプリンティング技術を用いることにより,導光板のような光学部品の低コストかつ高生産率の製作が可能である。

シソーラス用語： ポリメタクリル酸メチル ,  *マイクロレンズ ,  *気球 ,  *ローラ ,  *紫外線 ,  *刷込 ,  ベルト ,  鋳型【鋳造】 ,  ポリジメチルシロキサン ,  圧力 ,  光架橋 ,  焦点距離 ,  光重合型樹脂
準シソーラス用語： *インプリンティング ,  マイクロレンズアレイ ,  レンズアレイ ,  光学的特性 ,  紫外線硬化樹脂 ,  接触面積 ,  導光板

分類 (3件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  プレス加工  (WC04050H) ,  成形工程とその装置一般  (YH04030C)

タイトルに関連する用語 (8件)： PMMA ,  マイクロレンズアレイ ,  製作 ,  気球 ,  ローラ ,  アシスト ,  紫外線 ,  インプリンティング