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J-GLOBAL ID：201002272149070950   整理番号：10A0686650

原子層堆積の過程における気相の時間分解FTIR分光法

Time-resolved Fourier transform infrared spectroscopy of the gas phase during atomic layer deposition

著者 (4件)： SPERLING Brent A. (Process Measurements Div., National Inst. of Standards and Technol., Gaithersburg, Maryland 20899) ,  KIMES William A. (Process Measurements Div., National Inst. of Standards and Technol., Gaithersburg, Maryland 20899) ,  MASLAR James E. (Process Measurements Div., National Inst. of Standards and Technol., Gaithersburg, Maryland 20899) ,  CHU Pamela M. (Process Measurements Div., National Inst. of Standards and Technol., Gaithersburg, Maryland 20899)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 28  号： 4  ページ： 613  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層堆積の過程で生じる気相の動特性を測定するため,FTIRを用いた手段を開発した。この新しい方法を,テトラキス(エチルメチルアミド)ハフニウムおよび水蒸気を用いた酸化ハフニウムの堆積において具体的に示した。堆積プロセスの再現性を利用して多数のサイクルにわたって信号を平均した。この方法は,前駆体の入射パルスとスペクトロメータの移動鏡とを同期させる必要があった。本研究では,系は時間分解能約150msを達成したが,もっとよい分解能は容易に得ることができる。この方法を用いて,物質移動および表面反応の結果としての,前駆体および生成物の分子数密度の過渡現象を光学的に測定できた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *FTIR分光法 ,  赤外吸収スペクトル ,  時間分解分光法 ,  *酸化ハフニウム ,  有機ハフニウム化合物 ,  水蒸気 ,  前駆体 ,  生成物 ,  物質移動 ,  表面反応 ,  過渡現象 ,  時間分解能 ,  その場観察 ,  誘電体薄膜
準シソーラス用語： *原子層堆積 ,  高k誘電体

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル  (BM08063C)

物質索引 (1件)： テトラキス(エチルメチルアミノ)ハフニウム

タイトルに関連する用語 (5件)： 原子層堆積 ,  過程 ,  気相 ,  分解 ,  FTIR分光法