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J-GLOBAL ID：201002272164371606   整理番号：10A1146899

3D-CADを用いた集束イオンビームによる3次元マイクロ加工

著者 (4件)： 上條誠 (日本工大 大学院) ,  野口裕之 (日本工大) ,  関川雅一 (日本工大 大学院) ,  佐々木大輔 (日本工大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J08  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 3D-CADであるCATIAを用いて設計した3次元形状モデルを用いて,集束イオンビーム加工観察装置が読み込むことのできる約300万点の点群データを作成し,3次元マイクロ加工を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *CAD【計算機】 ,  *集束イオンビーム ,  イオン照射 ,  形状測定 ,  光学顕微鏡
準シソーラス用語： *三次元CAD ,  イオンビーム照射 ,  三次元加工 ,  三次元形状測定 ,  レーザ顕微鏡

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 3D-CAD ,  集束イオンビーム ,  3次元 ,  マイクロ加工