抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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光学顕微鏡による飛跡検出(重イオン核破砕反応実験)及び原子間力顕微鏡による飛跡観察等の一連の実験を行ない,原子力間力顕微鏡によって,エッチング時間の短い10nmオーダーの深さ,半径を持つエッチピットが観察できることが分かったが,これらのエッチピットでは,これまで用いられてきた半径とエッチング速度比の関係式が成り立たないかもしれない。なぜなら深さ方向の損傷度合いは一定であると予想されるが,時間と共にエッチング速度比が小さくなっていく傾向が見られた。また,
12Cを用いた較正実験によってエッチピットの半径と損傷量との関係が得られたが,一般の核反応生成物への適用性にはまだ問題がある。核電荷,質量数,エネルギーが同じ荷電粒子でも,深さ,半径にはばらつきがあり,これはエッチング条件に依存するようである。