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J-GLOBAL ID：201002272273410484   整理番号：10A0447826

標的分子のスパッタリングに関する分子解離エネルギーの効果

Effect of Molecular Dissociation Energy on the Sputtering of Molecular Targets

著者 (2件)： ANDERS Christian (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU) ,  URBASSEK Herbert M. (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 114  号： 12  ページ： 5499-5505  発行年： 2010年04月01日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標的分子の解離エネルギーがそのスパッタ収率に如何に影響しているかを調べるため,O₂固体としてモデル化された二原子分子標的中への同じ化学種であるO₂クラスタ弾道体の衝撃について分子動力学的シミュレーションを行った。実際の酸素の解離エネルギー5.165eVに近いD₀=5eVを持つ酸素を記述するため最初に結合次数ポテンシャルを工夫した。このポテンシャルから換算解離エネルギーDを分子間凝集エネルギーのオーダーに修飾し,0.1から20eVとした。このスパッタ収率はDに依ってほんのわずかな(±20%迄)影響しか受けていないことを見出した。解離した分子の数は換算したDに強く関連して増加するが解離に費やされたエネルギーの全量は大まかには一定であった。これはそのスパッタ収率がクラスタの全衝撃エネルギーとその固体の凝集エネルギーに依存していることを予測させるクラスタ誘起スパッタリングの利用できる理論に一致していた。

シソーラス用語： *分子 ,  *スパッタリング ,  解離エネルギー ,  二原子分子 ,  クラスタ分子 ,  結合次数 ,  凝集エネルギー ,  衝突エネルギー
準シソーラス用語： *標的分子 ,  *酸素分子 ,  分子クラスタ

分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 標的分子 ,  スパッタリング ,  エネルギー