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J-GLOBAL ID：201002272300386809   整理番号：10A0552737

導電性液体の入ったマイクロプールに浸漬されたプローブを用いる物理的制約の低いMEMSポテンショメーター

LOW PHYSICAL RESTRICTION MEMS POTENTIOMETER USING PROBE DIPPING μPOOL WITH CONDUCTIVE LIQUID

著者 (3件)： ITO Masatoshi (Ritsumeikan Univ., JPN) ,  KUWAMURA Tomoki (Ritsumeikan Univ., JPN) ,  KONISHI Satoshi (Ritsumeikan Univ., JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 23rd Vol.1  ページ： 288-291  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来のポテンショメーターは可変抵抗器と可動電極間の接触点で物理的に制約されている。この物理的制約はマイクロアクチュエーターの性能に影響する。この論文は,マイクロプールに浸漬されたプローブを通しての結合(PDP-結合)を用いるMEMSポテンショメーターを提供する。PDP-結合は,導電性液体で満たされたマイクロプールを通して結合される2つの電極からなる。1つの電極は,マイクロプール中を他の電極の上で動くプローブ電極である。その結果,PDP-結合は電極の接触点での物理的制約を著しく低減することができる。可動対象物の位置を,その動きを制限することなく検出することを可能にする。直径20μmのPDP-結合に基づいて開発したポテンショメーターは,良好な直線性で2μmの変位を検出することができた。

シソーラス用語： 電位差計 ,  *MEMS ,  電磁流体 ,  *浸漬 ,  *プローブ ,  電極 ,  規制
準シソーラス用語： *ポテンショメータ ,  制限 ,  導電性流体 ,  *導電性流体マイクロプール ,  物理的制約

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 導電性 ,  浸漬 ,  プローブ ,  物理 ,  制約 ,  MEMS ,  ポテンショメーター