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J-GLOBAL ID：201002272373573437   整理番号：10A0913639

集積光学に対するTi金属によるMgO:LiNbO₃結晶の表面エッチング

Surface Etching of MgO:LiNbO₃ Crystal by Ti Metal for Integrated Optics

著者 (6件)： ZHANG De-Long (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  ZHANG De-Long (City Univ. Hong Kong, Hong Kong SAR, CHN) ,  ZHANG Pei (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  ZHOU Hao-Jiang (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  CUI Yu-Ming (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  PUN Edwin Yue-Bun (City Univ. Hong Kong, Hong Kong SAR, CHN)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 157  号： 9  ページ： D486-D492  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 5モル%MgOでドープしたLiNbO₃結晶の表面エッチングを調べた。MgO:LiNbO₃/Ti/MgO:LiNbO₃サンドイッチ構造について,1050~1100°C,湿った酸素雰囲気にて,エッチングを行った。エッチング深さ,Ti層の引き上げられた高さ,および表面粗さは,最初のTi厚さ,アニール温度および継続時間に依存する。エッチング深さは最大260nmであり,表面粗さは5nm未満であった。X線回折,Raman散乱,エネルギー分散蛍光X線分析,SIMSなどの分析から,エッチングされた表面はLiNbO₃結晶相および元の結晶組成を保持しており,かつ,Tiは含まれていない。エッチング機構およびMgOでドープの効果について考察した。

シソーラス用語： 集積光学 ,  チタン ,  酸化マグネシウム ,  *酸化ニオブ ,  リチウム化合物 ,  結晶 ,  *エッチング ,  表面 ,  ドーピング ,  サンドイッチ構造 ,  酸素 ,  雰囲気 ,  *表面粗さ ,  X線回折 ,  Raman散乱 ,  エネルギー分散蛍光X線分析 ,  二次イオン質量分析 ,  固相 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  SIMS【質量分析】 ,  結晶相

分類 (3件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  その他の表面処理  (WC08070F) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集積光学 ,  Ti ,  MgO ,  結晶 ,  エッチング