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J-GLOBAL ID：201002272397448684   整理番号：10A1616133

第6世代小型圧力センサ

6th Generation Small Pressure Sensor

著者 (3件)： 西川睦雄 (富士電機システムズ) ,  松下浩二 (富士電機システムズ 計測技術セ) ,  斉藤和典 (富士電機システムズ)
資料名： 富士時報  (Fuji Electric Journal)
巻： 83  号： 6  ページ： 420-424  発行年： 2010年11月10日 
JST資料番号： F0080A  ISSN： 0367-3332  CODEN： FUJIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 自動車の環境に与える影響が少なくなるように,エンジンマネジメントを高精度化・高効率化するためには,圧力センサが重要なキーデバイスの一つとなる。富士電機は,デジタルトリミング型の第6世代小型圧力センサを開発した。異方性エッチング技術で高精度のダイヤフラム加工を行い,センサ部の面積を削減した。さらに,デザインルールを見直して回路部および保護素子を縮小化した。これにより,第5世代である従来の量産品と同等の機能,性能(検出精度),EMC(Electro Magnetic Compatibility)保護性能を維持しながら,チップ面積を70%に縮小した。(著者抄録)

シソーラス用語： *小型 ,  *圧力センサ ,  *自動車 ,  効率化 ,  環境影響 ,  ダイヤフラム ,  電気保護 ,  *CMOS構造 ,  電磁干渉 ,  *回路設計 ,  電磁両立性
準シソーラス用語： EMC【電磁干渉】

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (5件)：

• 斉藤和典.「車載用MEMSの最前線徹底検証」. 電子ジャーナル.2010, p. 99-119.
• 三浦俊二, 酒井利明. 半導体圧力センサ. 富士時報1988, vol.61, no.8, p. 537-541.
• 加藤和之ほか. ワンチップ集積形圧力センサ. 富士時報1992, vol.65, no.3, p. 186-189.
• 加藤和之, 篠田茂EMI対策内蔵型圧力センサ. 富士時報.2000, vol.73, no.8, p. 466-468.
• 上柳勝道ほか. 自動車用圧力センサ. 富士時報.2003, vol.76, no.10, p. 616-618.

タイトルに関連する用語 (2件)： 世代 ,  圧力センサ