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J-GLOBAL ID:201002272650373548   整理番号:10A0728299

光学表面測定における位相回復アルゴリズムのための球面対球面回折伝搬法

Sphere-to-sphere diffraction propagation method for a phase-retrieval algorithm in the measurement of optical surfaces
著者 (3件):
資料名:
巻: 49  号: 16  ページ: 3215  発行年: 2010年06月01日 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 1559-128X  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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SziklasとSiegman座標変換(SSCT)を基にした位相回復アルゴリズムを提示し,光学表面試験に適用した。このSSCTによって球面波回折問題は平面波回折問題へと変換され,高速Fourier変換を伝搬計算に直接適用できる。提案方法は通常の回折伝搬法と比較して簡単で相対的に高速であり,位相回復アルゴリズムに対する計算効率はある程度まで増加させることが出来る。この方法による解析とシミュレーションを実行した。シミュレーション結果は正しい回折計算と位相回復能力とを示した。実際の直径200mmのf/5の球面を試験した。試験結果はZYGO干渉計によるものと良い一致を示し,提案方法の実現可能性と精度が確認された。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
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その他の光学機器  ,  光学情報処理 

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