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J-GLOBAL ID：201002273027743535   整理番号：10A0350279

対称共通経路ヘテロダイン干渉法を使った浮揚高測定

Flying-Height Measurement With a Symmetrical Common-Path Heterodyne Interferometry Method

著者 (3件)： SONG Nanhai (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  MENG Yonggang (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LIN Jing (Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 46  号： 3,Pt.2  ページ： 928-932  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ハードディスクドライブにおいて,100Gb/in²以上の面記録密度を実現するためには,浮揚高(FH)と言われるヘッドとディスク間のギャップを10nm以下とする必要がある。そして,そのためのFHの測定は大きな課題である。本研究では,ヘッドとディスク間のギャップを測定するために,対称共通経路ヘテロダイン干渉計を提案した。干渉計における共通経路設計により環境因子により誘起される誤差が大幅に低減され,干渉計の対称構造によりディスク傾斜Abbe誤差,歪み,および複屈折を補償することができ,接触に近いFHの測定が可能となった。理論的推定では,試験機の解像度は0.1nmに達すると予想される。

シソーラス用語： 磁気記録装置 ,  磁気ヘッド ,  磁気ディスク ,  浮上り ,  *高さ ,  間隙 ,  *駆動機構 ,  記録密度 ,  光干渉法 ,  *干渉計 ,  分解能
準シソーラス用語： *浮上高さ ,  *ハードディスクドライブ ,  *ヘテロダイン干渉計

分類 (2件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 対称 ,  経路 ,  ヘテロダイン干渉法 ,  浮揚