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J-GLOBAL ID：201002273347701873   整理番号：10A0260831

切断加工の最新技術 ウォータージェット切断の最新技術

著者 (1件)： 佐々木基 (渋谷工業)
資料名： 溶接学会誌  (Journal of the Japan Welding Society)
巻： 79  号： 2  ページ： 146-151  発行年： 2010年03月05日 
JST資料番号： G0090A  ISSN： 0021-4787  CODEN： YOGAA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ウォータージェット切断加工及び新たに開発したレーザ切断とウォータージェット切断の両方を組合わせた複合加工法(LAMCS)について概説した。ウォータージェット切断は,加工エネルギーの大きな細い噴流を用いて,ハニカム構造,アルミニウム薄板,段ボール等の変形し易い構造や軟質材料の切断に適している。LAMCSには,水冷により熱影響が少ない,切断時に発生する溶融粉による汚染やバリの発生が少ない等の利点がある。LAMCSではウォータージェットの水柱内にレーザ光を重畳し伝播させるために独自のノズルを開発した。LAMCSの適用分野はシリコンウエハーダイシング(切断)や微細加工,サファイア基板や銅板の溝加工,めっき膜除去等である。

シソーラス用語： *切断 ,  *複合加工 ,  レーザ切断 ,  噴流 ,  ハニカム構造 ,  薄板 ,  軟質材料 ,  水冷 ,  熱影響 ,  ばり ,  水流 ,  ノズル ,  ウエハ【IC】 ,  溝加工 ,  微細加工
準シソーラス用語： *ウォータジェット切断 ,  ダイシング加工 ,  最新技術

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (2件)：

• 中央労働災害防止協会. ウォータージェット加工機の安全対策に関する調査研究委員会報告書. 1991
• STREET, R. L. ELEMENTARY FLUID MECHANICS

タイトルに関連する用語 (2件)： 切断加工 ,  ウォータージェット切断