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J-GLOBAL ID：201002273507931269   整理番号：10A0924857

LSI回路のための位相差顕微鏡法を用いた空間的時間的高解像サーマルイメージング

HIGH SPATIAL AND TEMPORAL RESOLUTION THERMAL IMAGING FOR LSI CIRCUITS WITH PHASE MICROSCOPY

著者 (5件)： NAKAMURA Tomonori (Hamamatsu Photonics K.K., HAMAMATSU-CITY, JPN) ,  IWAI Hidenao (Hamamatsu Photonics K.K., HAMAMATSU-CITY, JPN) ,  YAMAUCHI Toyohiko (Hamamatsu Photonics K.K., HAMAMATSU-CITY, JPN) ,  TERADA Hirotoshi (Hamamatsu Photonics K.K., HAMAMATSU-CITY, JPN) ,  IIDA Hithoshi (Hamamatsu Photonics K.K., HAMAMATSU-CITY, JPN)
資料名： Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium  (Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻： 2010 Vol.2  ページ： 874-878  発行年： 2010年 
JST資料番号： A0631A  ISSN： 1541-7026  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： LSI回路の不良解析技術であるサーマルイメージング測定解析として,ストレスパルスを数学正弦曲線(シヌソイド)的に照射することでデバイス中に発生するホットスポット位置を測定可能とする周波数ドメイン干渉法を提案する。スタティック測定での結果はこの方法でDUTのスタティック温度測定が可能なことが分かった。InGaAsカメラを用い,スーパールミネセンスダイオード(SLD)による1msのパルス幅および7.5Hzのフレーム周期条件でロックイン計測を行った結果,LSI回路での熱波伝導イメージを位相的および振幅的に高解像度で取得できることが分かった。

シソーラス用語： *LSI【IC】 ,  位相差顕微鏡 ,  光学顕微鏡法 ,  高分解能 ,  *サーマルイメージング ,  熱画像 ,  周波数解析 ,  干渉測定 ,  ホットスポット ,  *故障点標定 ,  光学系 ,  計測システム ,  可視化 ,  撮像装置 ,  光透過
準シソーラス用語： 光路長

分類 (3件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (4件)： LSI回路 ,  位相差顕微鏡法 ,  高解像 ,  サーマルイメージング