3C-SiC圧電抵抗微小圧力センサの作製と特性化

文献

J-GLOBAL ID：201002273826962894 整理番号：10A0820065

Fabrication and Characterization of a Polycrystalline 3C-SiC Piezoresistive Micro-pressure Sensor

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巻： 56 号： 6 ページ： 1759-1762 発行年： 2010年06月15日
JST資料番号： T0357A ISSN： 0374-4884 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：韓国 (KOR) 言語：英語 (EN)

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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器

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