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J-GLOBAL ID:201002273903737726   整理番号:10A0227275

1軸直線移動台用のDVDピックアップベース4DOF運動誤差測定システムの研究

Development of a DVD pickup-based four-degrees-of-freedom motion error measuring system for a single-axis linear moving platform
著者 (7件):
資料名:
巻: 224  号:ページ: 37-50  発行年: 2010年 
JST資料番号: E0712A  ISSN: 0954-4054  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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DVDピックアップを利用した1軸直線移動台用の運動誤差測定装置を提案した。測定装置は,ピックアップ,焦点レンズ,四分儀,及び格子で構成する。ピックアップは,市販品の改造品であり,ホトダイオードは0次回折光のFES(焦点誤差信号)を検出し,四分儀は±1次回折光の位置を検出する。水平直線誤差は,DVDピックアップの焦点技術を用いて測定し,運動解析の逆アルゴリズムにより,ヨー,ピッチ,ロール角度誤差を測定する。測定装置の角度測定系の較正試験,並びに直線度測定装置の較正試験を行い,1軸直線移動台の誤差測定を行った。相対精度は,角度±1arcsec,直線運動±2μmであった。
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
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計測機器一般 

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