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J-GLOBAL ID：201002273949893986   整理番号：10A0643758

水/アイス鋳型上の溶液ディウェッティングに依るアンダーカット構造の簡便な一段作製

Facile One-Step Fabrication of an Undercut Structure by Solution Dewetting on a Water/Ice Mold

著者 (3件)： XUE Longjian ,  XING Rubo ,  HAN Yanchun
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 114  号： 21  ページ： 9845-9849  発行年： 2010年06月03日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反転すると台形みぞを有するポリジメチルシロキサン(PDMS)エラストマ鋳型を用いて作製したキャピラリー中へのミクロ鋳型(MIMIC)を使った氷と水のストライプ鋳型を作製し,この鋳型を用いてポリ(メチルメタクリレート)(PMMA)クロロホルム溶液の塗布とディウェッティングによってアンダーカット構造を持つストライプ状ポリマ皮膜を作製した。ポリマ溶液濃度は0.5,0.8,1,5wt%について調べた。作製した鋳型とアンダーカット構造はFESEM,光学顕微鏡,接触角測定で特性を評価した。氷鋳型と水カラムの状態はアンダーカットの角度を決め,ポリマ濃度は作製した構造の厚みを決めた。この方法は水に溶けず揮発性溶媒に溶ける他の絶縁性ポリマにも拡張できる。

シソーラス用語： *氷 ,  *鋳型【鋳造】 ,  水 ,  *アンダカット ,  チャネル ,  ポリジメチルシロキサン ,  鋳型材料 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  濃度依存性 ,  走査電子顕微鏡 ,  電界放出 ,  光学顕微鏡 ,  接触角 ,  *高分子薄膜 ,  高分子溶液 ,  脂肪族塩素化合物 ,  トリハロメタン
準シソーラス用語： ディウェッティング ,  FE-SEM

分類 (3件)： 界面化学一般  (CB12010J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： クロロホルム

タイトルに関連する用語 (7件)： 水 ,  アイス ,  鋳型 ,  溶液 ,  ディウェッティング ,  アンダーカット ,  作製