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J-GLOBAL ID：201002273960024302   整理番号：10A0897912

変調レーザ加熱の間における多層薄膜系における直交面支配熱輸送にたいする規準

Criteria for Cross-Plane Dominated Thermal Transport in Multilayer Thin Film Systems During Modulated Laser Heating

著者 (6件)： HOPKINS Patrick E. (Sandia National Lab., NM) ,  SERRANO Justin R. (Sandia National Lab., NM) ,  PHINNEY Leslie M. (Sandia National Lab., NM) ,  KEARNEY Sean P. (Sandia National Lab., NM) ,  GRASSER Thomas W. (Sandia National Lab., NM) ,  HARRIS C. Thomas (Sandia National Lab., NM)
資料名： Journal of Heat Transfer  (Journal of Heat Transfer)
巻： 132  号： 8  ページ： 081302.1-081302.10  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： C0658A  ISSN： 0022-1481  CODEN： JHTRAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜試料上でのポンププローブ過渡サーモリフレクタンス(TTR)測定による直交面熱伝導率(Λ)及び界面熱抵抗(G)の決定における異なる熱解析の影響を調べた。TTR測定における熱輸送にたいする一次元及び軸対称円筒モデルによる結果を比較した。Al/Si及びAl/ガラス系とともに,Pt,SiO₂及びSiNx膜によるデータに適用した。本報では,Ti:サファイア振動子(80MHz,パルス幅90fs)によるパルスレーザ加熱を用い,さらに11MHzに変調した。熱解析について,一次元時間領域モデル,軸対称周波数領域モデル及び,レーザ変調及び熱蓄積効果について述べた。測定システムの詳細を示した。測定結果を,ポンププローブ遅れ時間にたいする感度,サーモリフレクタンス信号の変化及び変調周波数による信号比の変化などで示した。ナノ構造におけるG及びΛ決定での熱解析を検証した。薄膜多層構造に拡張し,11MHz変調周波数において,熱輸送は一次元であることを示した。モデルの間の誤差は,パルスの蓄積及び残留加熱を考慮しないことによって起きることを述べた。

シソーラス用語： 多層膜 ,  *薄膜 ,  *レーザ加熱 ,  輸送現象 ,  *熱伝導率 ,  熱抵抗 ,  ポンププローブ法 ,  計測 ,  サファイアレーザ ,  パルスレーザ ,  パルス幅 ,  パルス変調 ,  ナノ構造 ,  Ti-サファイアレーザ
準シソーラス用語： 熱輸送 ,  *界面熱抵抗 ,  *サーモリフレクタンス法

分類 (1件)： 熱伝導  (PA02020Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 変調 ,  レーザ加熱 ,  多層薄膜 ,  支配 ,  熱輸送