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J-GLOBAL ID：201002274268371708   整理番号：10A0786002

無機および高分子基板のインデンテーションリソグラフィーによるミクロおよびナノパターニング

Micro- and Nanopatterning of Inorganic and Polymeric Substrates by Indentation Lithography

著者 (8件)： GONG Jinlong (Harvard Univ., Massachusetts) ,  LIPOMI Darren J. (Harvard Univ., Massachusetts) ,  DENG Jiangdong (Harvard Univ., Massachusetts) ,  NIE Zhihong (Harvard Univ., Massachusetts) ,  CHEN Xin (Harvard Univ., Massachusetts) ,  RANDALL Nicholas X. (CSM Instruments Inc., Massachusetts) ,  NAIR Rahul (CSM Instruments Inc., Massachusetts) ,  WHITESIDES George M. (Harvard Univ., Massachusetts)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 10  号： 7  ページ： 2702-2708  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エポキシ樹脂,ケイ素および酸化ケイ素基板表面のダイヤモンドチップを用いるナノインデンテーションによるパターン生成(インデンテーションリソグラフィー;IndL)を検討した。作製したパターンを原子間力顕微鏡により確認した。PDMSスタンプへの転写によるソフトリソグラフィーおよび金,銀蒸着膜へのパターン転写によるSERS用金属ピラミッド構造の作製例を示した。

シソーラス用語： *ナノインデンテーション ,  *リソグラフィー ,  *パターン形成 ,  エポキシ樹脂 ,  ウエハ【IC】 ,  酸化ケイ素 ,  原子間力顕微鏡 ,  ポリジメチルシロキサン ,  スタンプ材 ,  金 ,  銀 ,  蒸着膜 ,  パターン転写 ,  表面増強Raman分光法
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  SERS分光法 ,  *インデンテーションリソグラフィー ,  ケイ素基板

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高分子基板 ,  インデンテーション ,  リソグラフィー ,  ナノパターニング