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J-GLOBAL ID：201002274897138862   整理番号：10A0686633

帯電水滴による衝撃を受けたポリイミドの表面分析

Surface analysis of polyimide bombarded by charged water droplets

著者 (3件)： HIRAOKA Kenzo (Clean Energy Res. Center, Univ. of Yamanashi, Takeda 4-3-11, Kofu 400-8511, JPN) ,  SAKAI Yuji (Clean Energy Res. Center, Univ. of Yamanashi, Takeda 4-3-11, Kofu 400-8511, JPN) ,  IIJIMA Yoshitoki (Electron Optics Sales Div., JEOL Ltd., 2-8-3 Akebono, Tachikawa, Tokyo 190-0012, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 28  号： 4  ページ： 510  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 500eV Ar⁺イオン衝撃と,帯電電子噴霧水滴が真空中に導入され,加速され,試料に衝撃を与えるようになっている,電子噴霧液滴衝撃(EDI)をポリイミド(PI)のエッチングに適用した。衝撃後,X線光電子分光(XPS)を適用して表面分析を行った。酸素と窒素はAr⁺イオン衝撃によって選択エッチングされるが,帯電水滴照射を長時間行ってもXPSスペクトルは変わらなかった。すなわち,EDIは照射後の試料損傷が殆んど無い状態でPIの浅い表面エッチングが可能である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *帯電 ,  *水滴 ,  噴霧 ,  アルゴン ,  *イオン衝突 ,  *ポリイミド ,  *エッチング ,  選択腐食 ,  イオンエッチング ,  照射損傷 ,  X線光電子スペクトル ,  表面分析 ,  高分子鎖 ,  二次イオン質量分析
準シソーラス用語： *電子噴霧 ,  選択エッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子の分解,劣化  (CG03010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 帯電 ,  水滴 ,  衝撃 ,  ポリイミド ,  表面分析