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J-GLOBAL ID：201002275039154570   整理番号：10A0466692

自己キャリブレーティング横走査白色光干渉計

Self-calibrating lateral scanning white-light interferometer

著者 (1件)： MUNTEANU Florin
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 49  号： 12  ページ： 2371  発行年： 2010年04月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 横走査白色光干渉法は,標準の光干渉法に対する魅力的な代替法となる。後者の手順を越えるその主な長所は,厄介な繕い手順の必要用なく,大きなサンプルを連続的に走査する能力にある。現在,本方法の大規模な工業的受入の方針における主な欠点は,各測定の前に傾斜角の注意深い校正が必要となることである。新しい自己校正の方法を示す。通常の走査プロセスで取得されたデータを用いて,初期傾斜角校正の必要性を除去し,再校正により規定される測定時間の増加なしに最高のSN比のための実時間調整を行なうことができる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *干渉計 ,  白色光 ,  *光干渉法 ,  キャリブレーション ,  光走査
準シソーラス用語： 校正【計測】

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 自己 ,  走査 ,  白色 ,  光干渉計