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J-GLOBAL ID:201002275097237290   整理番号:10A0556156

バルク微細加工トリグリセライドバイオセンサーの実装

Packaged bulk micromachined Triglyceride biosensor
著者 (6件):
資料名:
巻: 7592  ページ: 75920G.1-75920G.8  発行年: 2010年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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トリグリセライド(中性脂肪)の推定は健康と食品産業では重要であり,電解質絶縁体半導体キャパシター(EISCAP)は,基本的に脂肪分解酵素によるトリグリセライドの酵素加水分解に基づくバイオセンサーとして使用可能なpHセンサーである。EISCAPは,従来型センサーと比較して,良好な精度と感度で容易に動作可能である。試料ウエハをガラスプレートに接着材により接合することにより,小型EISCAPバイオセンサーを実装することに成功した。酵素固定と測定中液体試料をピット(穴部)に閉じ込めるため,テフロンキャップを付加した。また,これにより,生体検体の瞬間蒸発を防止した。このパッケージングは,小型センサーの堅牢化とポータブル(可搬型)化を助けた。トリブチリン濃度を変えることにより予想されたシフトを示すC-V曲線を用いて,センサー上脂肪分解酵素の固定後,実装小型EISCAPバイオセンサーを試験することに成功した。この小型EISCAPバイオセンサーは,感度48mV/pHの大面積ESICAPセンサーと比較して,pH感度を55.25mV/pHに増すことがわかった。また,ガラスとシリコンウエハ間の陽極接合を試みたが,漏洩電流の増加を生じる誘電層の破壊を招いた。
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生体計測 
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