回転型面外マイクロミラー

OAK Sahil; EDMISTON Gregory F.; SIVAKUMAR Ganapathy; DALLAS Tim

文献

J-GLOBAL ID：201002275222275735 整理番号：10A0664161

回転型面外マイクロミラー

Rotating Out-of-Plane Micromirror

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資料名：
巻： 19 号： 3 ページ： 632-639 発行年： 2010年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

諸微小光学系の360°走査仕様を満たすことが可能である,回転型面外マイクロミラー構造の設計,作製,作製後アセンブリーと試験について報告した。この光学系は,比較的簡単な後処理方法を用いて,面外位置に対し直立したポリシリコンマイクロミラーから構成した。面外ミラーの位置決めを実現するのに必要な後処理が簡単で効果的方法であることがわかった。この回転型ミラー装置は,ギア,TRA(回転静電型アクチュエータ)とTRA用素子を含む,標準SUMMiT(Sandia Ultra-PlanerMulti-level MEMS技術)ブロックを用いた。360°の回転自由度を有するギア上にそのミラーを実装し,静電回転駆動を用いて,1~1000Hzの周波数範囲で駆動することができた。そのミラー構造を組み立てるのに要するアセンブリー力との適合性を増すように,これらの数ブロックを修正した。1~1000Hzの広範囲の周波数でマイクロミラーを作動することにより,組み立てた構造の堅牢性を試験した。14Vのピーク振幅で1~1000Hzの範囲の入力試験周波数に対し,1対1のラチェットがあることを観測した。その光学特性の動的解析の一部として,走査範囲におけるミラーからの反射光の強度量を定量化するために用いる自動反射測定システムを開発した。CODE V光学設計ソフトウエアにより類似した解析を行うことにより,その実験を検証した。このCODE Vモデルは,±9.5°で強度の90%急降下を予測したが,実験結果は±12°で強度の同一変化(0°で得たピーク強度と比較して)を示した。さらに,TRAとミラー間の反動による効果を定量化し,実験と諸シミュレーション間に良好な相関関係を得た。

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固体デバイス製造技術一般

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