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J-GLOBAL ID：201002275868920000   整理番号：10A1339279

有効プロセスタイムに基づく集合モデリングを使用したサイクルタイム-スループット曲線の作成

Generating Cycle Time-Throughput Curves Using Effective Process Time Based Aggregate Modeling

著者 (4件)： VEEGER C. P. L. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  ETMAN L. F. P. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  VAN HERK J. (NXP Semiconductors, Nijmegen, NLD) ,  ROODA J. E. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 23  号： 4  ページ： 517-526  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体工程においては,工程管理のためにサイクルタイム-スループット(CT-TH)曲線が使用される。本稿では,統合プロセス装置による作業に適用する,作業負荷依存性時間分布のG/G/mタイプ集合モデリングを使用したCT-TH曲線の作成について報告した。通常,限られたロット入出データだけしか得られない製造環境における工程に対するCT-TH曲線を作成するのに必要な集合モデリングの改良を行った。この方法を実際の工程に適用し検証を行った。その結果,この方法で作成したCT-TH曲線は,一般的な閉系G/G/m待ち行列式による場合に比べ,はるかに正確であることが分かった。

シソーラス用語： *工程管理 ,  *半導体プロセス ,  スループット ,  *モデリング ,  作業時間 ,  生産設備 ,  性能評価 ,  離散事象シミュレーション
準シソーラス用語： サイクルタイム

分類 (3件)： 計算機シミュレーション  (JE11000H) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  工程管理  (KB03030P)

タイトルに関連する用語 (7件)： プロセス ,  タイム ,  集合 ,  モデリング ,  サイクルタイム ,  スループット ,  曲線