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J-GLOBAL ID：201002275897516723   整理番号：10A1158646

多重チップ配列工具と高速スピンドルにより制御した加工面の特性

The Characteristics of Machined Surface Controlled by Multi Tip Arrayed Tool and High Speed Spindle

著者 (4件)： KIM Yong Woo (Pusan National Univ., Miryang, KOR) ,  CHOI Soo Chang (Pusan National Univ., Miryang, KOR) ,  PARK Jeong Woo (Chosun Univ., Gwangju, KOR) ,  LEE Deug Woo (Pusan National Univ., Miryang, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 10  号： 7  ページ： 4417-4422  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多重配列ダイヤモンドチップと高速スピンドルを用いて,軟質材料と脆性材料に適用できる超精密加工法を示した。ダイヤモンド配列チップはMEMS技術で作製した。高速スピンドルの回転数は約30万rpmである。加工面に影響する幾つかのパラメータとして,ダイヤモンドチップの配列(n×n),エアスピンドルの速度,送り速度を定義した。マイクロマシニングに対する表面粗さと表面テクスチャはこれらのパラメータにより制御できる。

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *超精密加工 ,  *ダイヤモンド工具 ,  スピンドル ,  MEMS ,  表面粗さ ,  脆性材料 ,  表面構造 ,  研磨
準シソーラス用語： 表面テクスチャー

分類 (1件)： 機械加工,仕上げ一般  (YH04111G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多重 ,  工具 ,  スピンドル ,  加工面