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J-GLOBAL ID：201002275964029085   整理番号：10A1746152

繰返し作動される容量RF MEMSスイッチにおける相互作用表面の接着の特性化

Characterization and Adhesion of Interacting Surfaces in Capacitive RF MEMS Switches Undergoing Cycling

著者 (5件)： YEO Seung Min (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  POLYCARPOU Andreas A. (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  TSEREGOUNIS Spyros I. (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  TAVASSOLIAN Negar (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  PAPAPOLYMEROU John (Georgia Inst. Technol., GA, USA)
資料名： Journal of Adhesion Science and Technology  (Journal of Adhesion Science and Technology)
巻： 24  号： 15/16  ページ： 2617-2639  発行年： 2010年 
JST資料番号： T0475A  ISSN： 0169-4243  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量無線周波数マイクロエレクトロメカニカルシステム(RF MEMS)スイッチの性能と信頼性は強い接着力などの界面相互作用による誤動作や機能低下に影響される。このような接着力は繰返し作動中に表面が機械的に更新されることによって増進する可能性がある。接着面積の増加や誘電帯電などが表面更新に関係する。これらの現象は同時に起こるために容量スイッチ挙動の解析を金属-金属スイッチに比べて複雑化する。本研究ではチタン-オン-窒化ケイ素接触面を持つ容量RF MEMSスイッチを調製しサイクル試験を行った。試験後チタン及び窒化ケイ素の接触面について原子間力顕微鏡によるトポグラフィー計測,TOF-SIMSによる表面分析及びナノインデンタによるナノ機械分析を行った。これらの表面変化によってスイッチの接着挙動と欠陥を説明できた。表面粗さ測定は物理的表面変化は試験の初期に起こることを示した。化学分析及びナノインデンテーションの結果は表面粗さの変化と平行して表面組成及び表面機械的性質が変化することを示した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *マイクロスイッチ ,  スイッチング ,  *接点現象 ,  接点材料 ,  相互作用 ,  *接着 ,  付着力 ,  *繰返し試験 ,  表面粗さ ,  表面構造 ,  チタン ,  窒化ケイ素 ,  静電容量 ,  故障モード ,  信頼性試験 ,  原子間力顕微鏡 ,  トポグラフィー【形態】 ,  二次イオン質量分析 ,  表面分析 ,  ナノインデンテーション
準シソーラス用語： TOF-SIMS ,  界面相互作用 ,  接着力

分類 (3件)： 界面の電気的性質一般  (BM03081H) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (4件)： RF ,  MEMSスイッチ ,  相互作用 ,  特性化