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J-GLOBAL ID：201002275994622198   整理番号：10A0286925

大気圧メタン-水素直流マイクログロー放電の計算研究

Computational Studies of Atmospheric-Pressure Methane-Hydrogen DC Micro Glow Discharges

著者 (3件)： FAROUK Tanvir (Princeton Univ., NJ, USA) ,  FAROUK Bakhtier (Drexel Univ., PA, USA) ,  FRIDMAN Alexander (Drexel Univ., PA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 38  号： 2  ページ： 73-85  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記放電特性を2Dハイブリッドモデルで計算機シミュレーション解析した。間隔400μmの針-平板電極放電について,プラズマと外部回路組み合わせたモデルで電子,各種粒子種の密度,電場,電子・ガス温度の分布の時間変化を求めた。電子-中性粒子,電子-イオン,イオン-中性粒子,中性粒子間の81種の反応を考慮し,表面やバルクにおける15粒子種が関与する84ステップの反応過程も取り入れた。反応過程に応じて適切な計算時間ステップを採用した。これにより表面とバルクの双方のプラズマ化学反応過程を解析できる。最も主要な水素および炭化水素は,それぞれH₃⁺とCH₅⁺イオンである。ガス温度は非熱的グロー放電の特徴を反映している。放電電流がプラズマと堆積過程に及ぼす影響を調べた。平坦な電圧-電流特性は正常グロー放電に対応しており,実験結果とも対応している。堆積は陰極スポットで生じている。

シソーラス用語： *グロー放電 ,  *プラズマ ,  *プラズマ化学反応 ,  プラズマ処理 ,  陰極点 ,  表面反応 ,  プラズマシミュレーション ,  計算機シミュレーション ,  薄膜成長
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,  *マイクロプラズマ

分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  気体放電  (BJ03020T) ,  放電装置  (BJ03040P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気圧 ,  メタン ,  水素 ,  直流 ,  グロー放電 ,  計算 ,  研究