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J-GLOBAL ID：201002276239923010   整理番号：10A1099418

マイクロレンズアレイの品質制御のための振幅フィルタとZernike多項式展開法

Amplitude filter and Zernike polynomial expansion method for quality control of microlens arrays

著者 (1件)： KASZTELANIC Rafal
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 49  号： 28  ページ： 5486  発行年： 2010年10月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本文では,マイクロレンズアレイの自動品質制御のための光学装置の計算機シミュレーションと実験的な実現について論じる。本方法は,Fourier面に置かれた振幅フィルタを用いた4fコヒーレント光相関器の装置に基づく。出力の強度信号は,入力波面の歪の一次微分に比例する。Zernike多項式展開法を使用して,解析を行なう。それは各レンズに対し別々に行なわれなければならないが,それによりマイクロレンズアレイの品質のより精密で定量的な評価が可能になる。重要なことは,この解析が計算機ベースのものであり,初期の単一光学的測定を基礎に行なわれていることである。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 光学フィルタ ,  *マイクロレンズ ,  Zernike多項式 ,  品質管理 ,  計算機シミュレーション ,  光相関器 ,  光学的測定
準シソーラス用語： *マイクロレンズアレイ

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロレンズアレイ ,  品質制御 ,  振幅 ,  Zernike多項式 ,  展開法