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J-GLOBAL ID：201002276303532160   整理番号：10A0700789

ホイートストーンブリッジを集積化したSU-8片持梁の作製

Fabrication of a Wheatstone-Bridge Integrated SU-8 Cantilever

著者 (3件)： AHN Jun-Hyung (Chonnam National Univ., Gwangju, KOR) ,  PARK Chang-Sin (Chonnam National Univ., Gwangju, KOR) ,  LEE Dong-Weon (Chonnam National Univ., Gwangju, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 6,Issue 2  ページ： 06GN01.1-06GN01.4  発行年： 2010年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ホイートストーンブリッジ構造を集積化したSU-8片持梁の設計と作製を述べた。異方的に湿式エッチングしたSi基板上のSU-8の光リソグラフィープロセスを用いて,信頼性あるシャープなチップを作製した。集積化したAu圧電器により片持ち梁上の表面応力の変化を検出する。片持ち評価の予備的な測定結果を提示した。作製したSU-8は,約4.5KHzの共振周波数を持ち,これから約0.15N/mのばね定数が得られた。細胞や体液の様な脆い生体試料についての非破壊原子間力顕微鏡(AFM)解析に非常に適している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *集積 ,  *片持梁 ,  設計 ,  *エッチング ,  *フォトリソグラフィー ,  金 ,  原子間力顕微鏡 ,  共振周波数 ,  *フォトレジスト
準シソーラス用語： *SU-8

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• G. Binning, C. F. Quate, and C. Gerber: Phys. Rev. Lett.56(1986)930.
• D. Rugar and P. Hansma: Phys. Today 43(1990) No.10, 23.
• M. H. Jericho, B. L. Blackford, D. C. Dahn, C. Frame, and D. Maclean: J. Vac. Sci. Technol. A 8(1990)661.
• P. Vettiger, G. Cross, M. Despont, U. Drechsler, U. During, B. Gotsmann, W. Haberle, M. A. Lantz, H. E. Rothuizen, R. Stutz, and G. K. Binning: IEEE Trans. Nanotechnol.1(2002)39.
• M. O’Reilly, L. McDonnell, and J. O’Mullane: Ultramicroscopy 86(2001)107.

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積化 ,  片持梁 ,  作製