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J-GLOBAL ID：201002276345939421   整理番号：10A0594086

放電励起カリウムプラズマを用いる小型極端紫外光源の放射特性

Emission properties of a compact extreme ultraviolet (XUV) light source by use of a discharge-produced potassium plasma

著者 (5件)： 寺内宏満 (宇都宮大 大学院) ,  菊地啓介 (宇都宮大 大学院) ,  東口武史 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ) ,  湯上登 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ) ,  谷田貝豊彦 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ)
資料名： 電気学会パルスパワー研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PPT-10  号： 24-28.30-35  ページ： 31-35  発行年： 2010年05月14日 
JST資料番号： L4030A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 固体カリウムを媒質としたキャピラリー放電生成プラズマの極端紫外光(波長0.2~100nm程度の波長領域を極端紫外領域と分類した)の放射特性について述べた。実験装置及び実験結果について述べた。カリウムプラズマからの極端紫外光の放射特性及びプラズマ温度について述べた。さらに,電圧電流特性及び放射角度分布からホローカソード放電の可能性について検討した。最後に,放射流体シミュレーションを用いた計算結果と観測結果を比較し評価した。

シソーラス用語： *紫外光源 ,  *放射特性 ,  カリウム ,  固体 ,  プラズマ温度 ,  *ホロー陰極放電 ,  シミュレーション ,  流体 ,  電流電圧特性 ,  キャピラリーGC ,  プラズマ ,  *極端紫外線 ,  *放電励起
準シソーラス用語： キャピラリー放電 ,  流体シミュレーション ,  放電プラズマ

分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F)

引用文献 (11件)：

• T. Ohtsubo, T. Azuma, M. Takaura, T. Higashiguchi, S. Kubodera, and W. Sasaki: “Removal of oxygen atoms from a SiO₂ surface by incoherent vacuum ultraviolet excimer irradiation”, Applied Physics A (Materials Science & Processing), Vol.76, pp. 139-141(2003).
• N. Hirashita, M. Kinoshita, I. Aikawa, and T. Ajioka: “Effects of surface hydrogen on the air oxidation at room temperature of HF-treated Si (100) surfaces”, Applied Physics Letters, Vol.56, pp. 451-453(1990).
• Y. Nagata, K. Midorikawa, S. Kubodera, M. Ohara, H. Tashiro, and K. Toyoda: “Soft-X-ray Amplification of the Lyman-a Transition by Optical-Field-Induced Ionization”, Physical Review Letters, Vol.71, pp. 3774-3777(1993).
• Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, A. Endo, T. Higashiguchi, and N. Yugami: “Reduction of debris of a CO₂ laser-produced Sn plasma extreme ultraviolet source using a magnetic field”, Applied Physics Letters, Vol.92, pp. 211503-1-211503-3(2008).
• D. Attwood: “Soft X-rays and Extreme Ultraviolet Radiation,”(Cambridge University Press, 1999).

タイトルに関連する用語 (5件)： 放電励起 ,  カリウム ,  プラズマ ,  極端紫外光源 ,  放射特性