文献

J-GLOBAL ID：201002276506659629   整理番号：10A1158708

Al添加ダイヤモンドライクカーボン薄膜のNaCl水溶液中での腐食挙動

Corrosion Behavior of Aluminum Doped Diamond-Like Carbon Thin Films in NaCl Aqueous Solution

著者 (2件)： KHUN N. W. (Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP) ,  LIU E. (Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 10  号： 7  ページ： 4767-4772  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラファイトターゲットとAlターゲットを同時スパッタすることで,n-Si(100)基板上にAl添加ダイヤモンドライクカーボン(DLC:Al)薄膜を作製した。構造,接着力および表面形態をそれぞれXPS,マイクロスクラッチ試験およびAFMを用いて評価した。また,0.6規定のNaCl水溶液中で動電位分極測定を行い,腐食性能を調べた。Alターゲットに加える電力が増大すると膜中のAl量が増大し,表面酸素の吸着量が増大した。また,Alを添加するとsp²結合が促進した。膜の腐食ポテンシャルがAl添加量の増大とともにより負の値にシフトしたものの,DLC:Al膜の分極抵抗は約18kΩから30.7kΩに増大した。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *添加物効果 ,  アルミニウム ,  塩化ナトリウム ,  水溶液 ,  *スパッタ蒸着 ,  基板 ,  ケイ素 ,  接着 ,  表面構造 ,  原子間力顕微鏡 ,  *電気化学的分極 ,  *引かき試験 ,  *腐食
準シソーラス用語： マイクロスクラッチ試験

分類 (2件)： 電気化学的分極  (CB07030J) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： Al ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  薄膜 ,  NaCl ,  水溶液 ,  腐食挙動