MEMSのキャラクタリゼーションのための自動化マルチスケール測定システム

LYDA W.; BURLA A.; HAIST T.; ZIMMERMANN J.; OSTEN W.; SAWODNY O.

文献

J-GLOBAL ID：201002276726231255 整理番号：10A0856944

MEMSのキャラクタリゼーションのための自動化マルチスケール測定システム

Automated Multi-Scale Measurement System for MEMS-Characterization

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資料名：
巻： 7718 ページ： 77180G.1-77180G.11 発行年： 2010年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

MEMSの検査に自動化マルチスケール測定システム(AMMS)を適応し,その結果を示した。その結果は,MEMSの検査に対するマルチスケールアクティブ検査手法の能力を示した。検査を行なうため,AMMSにビデオ顕微鏡と10と50倍の倍率の共焦点顕微鏡を実装した。MEMS構造の高度の複雑性にため,検査作業にアクティブ探査法とインジケータ評価アルゴリズムを適応した。また,櫛形構造の欠陥の存在を示すため,ウェーブレット変換を用いた選択的欠陥フィルタリングを使用した。

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固体デバイス計測・試験・信頼性

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