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J-GLOBAL ID：201002277095841389   整理番号：10A0774497

低温水溶液から沈殿した酸化チタンのナノ粒子:II 薄膜形成と微細構造の発達

Titanium Oxide Nanoparticles Precipitated from Low-Temperature Aqueous Solutions: II. Thin-Film Formation and Microstructure Developments

著者 (4件)： ZHANG Guangneng (State Univ. New York (SUNY) at Binghamton, New York) ,  ROY Biplab K. (State Univ. New York (SUNY) at Binghamton, New York) ,  ALLARD Lawrence F. (Oak Ridge National Lab., Tennessee) ,  CHO Junghyun (State Univ. New York (SUNY) at Binghamton, New York)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 93  号： 7  ページ： 1909-1915  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 塩酸水溶液にTiCl₄を添加し,TiCl₄濃度を2~12mM,pHを1.10~1.45とした溶液を作製した。酸素プラズマ処理で表面を親水性にしたn-型<1000>単結晶シリコンウエハーを,60°Cから90°Cで,新鮮な前記溶液中に浸漬し,一時間毎に溶液を更新して,被膜を形成した。得られた被膜をSEMとTEMでキャラクタリゼーションし,微細構造に及ぼす溶液濃度(すなわち,過飽和度)の影響,チタニア-ナノデンドライトの方位,微細構造の設計への過飽和度の利用などを論じた。

シソーラス用語： *酸化チタン ,  ナノ粒子 ,  *微細構造 ,  塩化チタン ,  塩酸 ,  水溶液 ,  沈殿 ,  化学合成 ,  基板 ,  ウエハ【IC】 ,  単結晶 ,  酸素 ,  *プラズマ処理 ,  親水性 ,  *浸漬 ,  濃度依存性 ,  飽和度 ,  樹枝状結晶 ,  結晶形態
準シソーラス用語： *Siウエハ ,  デンドライト ,  過飽和度 ,  低温合成 ,  *薄膜形成

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (8件)： 低温 ,  水溶液 ,  沈殿 ,  酸化チタン ,  ナノ粒子 ,  薄膜形成 ,  微細構造 ,  発達