文献

J-GLOBAL ID：201002277127287079   整理番号：10A1146849

光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発-光学的解析および評価実験-

著者 (4件)： 村上洋 (九州産業大) ,  甲木昭雄 (九大) ,  鬼鞍宏猷 (九大) ,  佐島隆生 (九大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.H25  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細金型や超精密機器,光通信機器,MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い,微細形状を測定する重要性は増加している。そこで,微小径の光ファイバプローブ(接触子直径5μm,シャフト径3μm)を用いることにより,低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする。本報では,幾何光線追跡シミュレーションを用いた光学系設計パラメータの最適化およびプローブ性能評価などを目的とした基礎実験の結果について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *計測システム ,  光線追跡 ,  分解能 ,  穴 ,  小口径
準シソーラス用語： スタイラス ,  *光ファイバプローブ ,  三次元形状測定 ,  測定分解能 ,  微細金型 ,  *微細形状 ,  微小径穴

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光ファイバプローブ ,  微細 ,  形状精度 ,  測定システム ,  開発 ,  光学 ,  解析 ,  評価実験