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J-GLOBAL ID：201002277334099584   整理番号：10A1039813

ナノ構造NiCr薄膜吸収体を用いる焦電気検出器の赤外線感受性

Infrared Responsivity of Pyroelectric Detectors With Nanostructured NiCr Thin-Film Absorber

著者 (3件)： SCHOSSIG Marco (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  NORKUS Volkmar (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU) ,  GERLACH Gerald (Technische Univ. Dresden, Dresden, DEU)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 10  号： 9-10  ページ： 1564-1565  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 焦電気赤外線検出器が3~5μmおよび8~14μm波長域における赤外放射モニタリングに一般に使用されている。本報告では,LiTaO₃系焦電体シングルエレメント検出器にナノ構造ニッケル-クロム(NiCr)薄膜吸収体を傾斜角高真空蒸着によりコーティングした。この被覆膜が優れた屈折率整合効果を発揮している。1~15μm波長範囲内について,ほぼ1μmの膜厚の良好な均一度をもつこの検出器の相対スペクトル応答感度を評価した。製造に手間取らずセンサコストが低減できる。

シソーラス用語： 焦電気 ,  *焦電体 ,  *タンタル酸リチウム ,  *赤外検出器 ,  ニクロム ,  皮膜 ,  真空蒸着 ,  薄膜成長 ,  光屈折効果 ,  改変 ,  高感度 ,  素子構造 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： ニクロム合金

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  光電デバイス一般  (NC03081P)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノ構造 ,  薄膜 ,  吸収体 ,  焦電気 ,  検出器 ,  赤外線 ,  感受性