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J-GLOBAL ID：201002277343233110   整理番号：10A0685100

CO₂及びYAGレーザ生成錫プラズマからのデブリの角分布

Angular distribution of debris from CO₂ and YAG laser-produced tin plasmas

著者 (6件)： CAMPOS D. (Purdue Univ., Indiana, USA) ,  COONS R. W. (Purdue Univ., Indiana, USA) ,  FIELDS M. D. (Purdue Univ., Indiana, USA) ,  CRANK M. (Purdue Univ., Indiana, USA) ,  HARILAL S. S. (Purdue Univ., Indiana, USA) ,  HASSANEIN A. (Purdue Univ., Indiana, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7636  号： Pt.1  ページ： 763612.1-763612.8  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Faradayカップ,確認板,X線光電子分光法,発光分光法,等の方法を用いて,CO₂及びYAGレーザ生成錫プラズマからのデブリの角分布を測定した。Nd:YAGレーザ生成プラズマからのデブリ放出はターゲット法線から急峻に低下した。対照的にCO₂レーザ生成プラズマからのデブリ放出はターゲット法線から小角度ではほぼ一定であった。また,CO₂レーザ生成プラズマからの原子及びイオンデブリの放出はNd:YAGレーザ生成プラズマの場合よりも少なかった。

シソーラス用語： Nd-YAGレーザ ,  *レーザプラズマ ,  スズ ,  炭酸ガスレーザ ,  *角分布 ,  *砕屑堆積物 ,  フォトリソグラフィー ,  半導体プロセス
準シソーラス用語： *デブリス

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： CO2 ,  YAGレーザ ,  錫 ,  プラズマ ,  デブリ ,  角分布