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J-GLOBAL ID:201002277628731262   整理番号:10A0867173

ITOスパッタコーティングによるポリマナノ繊維の表面官能化

Surface functionalization of polymer nanofibers by ITO sputter coating
著者 (4件):
資料名:
巻:号:ページ: 511-514  発行年: 2010年07月 
JST資料番号: H0021C  ISSN: 1547-0091  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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エレクトロスピニングによってナイロン6ナノ繊維を調製し,これの表面にマグネトロンスパッタリングによって酸化インジウムスズ(ITO)薄膜を蒸着した。これの表面構造,光学的性質及び電気的性質を特性化した。原子間力顕微鏡観察の結果はITOクラスタの堆積によって表面粗さが増加したことを示した。膜厚が大きいほど低波長光の透過性が低下し,UV遮蔽材料として機能すること示した。また膜厚が大きいほど表面抵抗が低下した。
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  半導体薄膜  ,  重金属とその化合物一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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